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兴南仪真空仪表使用说明书

XNY-16BA智能电子枪扫描控制仪?说明书

发布时间: 2015-08-22 16:45   974 次浏览


 XNY-16BA智能电子枪扫描控制仪  

             

一、仪器简介:

     CDXNY-16BA电子枪扫描控制仪(以下简称扫描仪)是我公司***新研制的专为电子枪配套的扫描控制电源。扫描仪巧妙的结合了模拟及数字电路,并具有RS232(或RS485)通讯接口,使之能与计算机实现通讯,对镀膜设备实现自动控制起到了不可缺少的作用。该控制仪的手操器是目前国内具有***先进技术的智能手操器,它通过串行总线I2C与主机相连接,运行可靠、安全。操作更加人性化,使得前一代仪器不可能达到的操作变为现实。该控制仪在人工控制模式下可以实现32点束斑位置记忆,并可对应选择实现存储不同波形及不同频率。人性化设计的手操器按键使得操控扫描仪器变得轻松自如。


二、主要性能及技术指标

1、 输出合成波形:圆形环/面(X、Y均为正弦波)、方形环/面(X、Y均为梯形波)。随机方形面积(X、Y均为三角波,随机启动面扫时X、Y均为矩形波)。

2、 环形面积密度可?。?/span>1-20条环形圈数可选。

3、 输出频率、X:20HZ~250 HZ 可设置。(步长1HZ)。

4、 输出频率、Y:50HZ~250 HZ 可设置。(步长1HZ)。

5、 X上限报警电流:0~2.5A可设置。

6、 X下限报警电流:0~2.5A可设置。

7、 设置参数掉电保存时间:10年。

8、 X直流偏移:0~±2.5A 或0~2A可调。(根据电子枪选型而定)

9、 X波幅电流:0~±3A 可调。

10、 Y直流偏移:0~±2A或0~±1.5A可调。(根据电子枪选型而定)。

11、 Y波幅电流:0~±1.5A 可调。

12、 X、Y输出特性:恒流。

13、 静态功耗:≤40W。

14、 仪器供电:AC 220V±10% 50HZ(如超过此电压范围建议采用稳压电源)。


三、智能手操器说明  通讯方式I2C  

手操器共设8只按键;5只脉冲电位器;8只发光二极管;手操器内设有一只蜂鸣器,用于按键发音及电位器端点到位告警。

手操器按键操作:所有输出状态控制均为宽度为500mS的负脉冲

1、 高压键

A、 用于开启高压,在开启高压时应先按动高压<预开>并使高压指示灯变成绿色否则不能打开高压且会听到两声告警音。

B、 用于关闭高压,在高压开启的状态下(高压指示灯变成红色)再次按动<高压>键即可关闭高压。为了安全,关闭高压不受<预开>限制。

注意:高压开启时的红色LED是检测外部PLC(可编程控制器)控制高压的时事动作状态,因此脱离到PLC的连线是看不到红色LED点亮的。

2、 预开——为了防止误开高压,特设此键用于控制高压开关。每当按动一次〈预开〉键且高压LED变成绿色时即允许开高压。当高压LED熄灭时则禁止开高压。

3、 挡板的控制 当右枪工作时每按<挡板>键一下,右挡板改变一次动作。当左枪工作时每按<挡板>键一下,左挡板改变一次动作。


4、 坩埚转位 当右枪工作时每按<坩埚>键一下,右坩埚(穴位)顺序转动一位。当左枪工作时每按<坩埚>键一下,左坩埚(环行)开始或停止转动。


5、 边界键——用于设置或解除X、Y电平及幅度的******调节范围。

边界设置过程 边界设置是用于设置X、Y电平及幅度******及***小调节范围。

A、 按动边界按钮,启动边界设置功能。(边界LED闪烁)

B、 每当当前电位器调节到位时:

按〈坩锅/下限确认〉 键锁定下电平边界

              按〈挡板/上限确认〉 键锁定上电平边界或幅值边界,锁定时发出滴滴两声报警,同时锁定LED随警声闪烁。

注:允许记忆的边界有:X、Y电平******值及***小值;X、Y幅度******值。

当再次按动边界按钮时退出边界设置。

解除边界:

调节一下需要解除边界的电位器,按住边界按键3S钟且听到告警时即可取消当前调节电位器的边界限制功能。按住边界按键7.5S钟取消所有电位器边界限制功能。

6、 坩埚键——用于控制坩埚的状态和确认下边界:

A、  当选择右枪工作时每按动此键一下,坩埚顺序转动一位。

当选择左枪工作时每按此键一下,坩埚开始或停止转动。

B、 设置下边界:当进入边界设置时此键为下边界确认键。

7、 挡板键——用于控制挡板的状态或确认上限边界及幅度边界

A、 常态时为挡板开关控制键(循环工作模式):当选择右枪工作时每按动此键一下,            右挡板改变一次动作。

当选择左枪工作时每按此键一下,左挡板改变一次动作。

B、 当进入边界设置时此键为上边界(******调节点)确认及幅度边界确认键。

8、 锁定键——用于禁止或允许X、Y电平及幅度电位器的调节。

9、 复位键(蒸发量)——用于蒸发量调节快速归零。利用此功能可将电位器的调节值快速恢复到零点而不必将电位器旋转回到零点。(点动有效)

10、 F(束斑位置记忆确认键)——用于记忆当前坩埚位置的X、Y电平及幅值(当坩埚改变的同时调出其记忆,并继续接受手操器的调节)。注:为了防止误操作,只有在高压打开后F键才有效。F键3秒钟记忆电平及幅度到当前坩埚(蜂鸣器发出两声)。在当前坩埚有记忆时,扫描控制仪上的束斑记忆灯点亮。

取消束斑记忆——在高压关闭时,按7。5秒F键取消当前位置的记忆。

注:除高压、高压预开及蒸发量调节外其余状态均带记忆功能。

四、电位器的调节

1、     X、Y电平调节——调节手操器上的X、Y偏移旋扭可对应改变X、Y方向的束斑位置。    每当电位器调节到端头时手操器会发出告警音。配合〈边界〉按键可设定X、Y偏移的***小及******调节范围。(调节分辨率0——255点,对应0——2A)

2、    X、Y幅度调节——调节手操器上的X、Y幅度旋扭可对应改变X、Y的扫描大小。每当电位器调节到端头时手操器会发出告警音。配合〈边界〉按键可设定X、Y偏移的******调节范围。(调节分辨率0——255点,对应0——3A)

3、 蒸发量调节——在高压开启状态可通过蒸发量调节旋扭调节束流或阻蒸率功的大     小??赏ü锤次弧蛋醇焖俳舴⒘康鹘诠榱?。(调节分辨率0——2000点,对应 0——100%)每当开机或关高压时复位到零。蒸发量调节在高压未开启时调节无效。

五、状态指示灯:

1、高压预开指示——当按动高压〈预开〉键时高压灯变绿(或灭)。

2、开高压指示——当按动〈高压〉键时高压灯变红。

3、开坩埚指示—— 每按键一次,坩埚灯亮0.5秒钟。

4、左枪指示—— 左枪工作时点亮    

5、右枪指示—— 右枪工作时点亮       

6、边界指示—— 当电位器调节到限制点时边界灯闪烁。

当进入边界设置时边界灯点亮。

当设定边界有效时边界灯连续闪动两次。

7、电位器禁动指示兼电位器高低端点告警指示。当前电位器调节到端头时发出声光同步告警。

8、开挡板指示——每按键一次,挡板灯亮0.5秒钟。

9、电位器正反转指示——当电位器顺时针旋转时指示点亮,反时针旋转时指示熄灭。

注意:

1、      扫描仪在系统开机后自动进行枪检测(实时检测,默认为右枪工作)判断左枪或右枪工作,同时点亮其对应的枪指示灯,并调出其保持的工作状态(除高压及蒸发量调节外的所有功能均与之相关联。)。

2、 开机时高压、高压预开及蒸发量调节输出均默认复位状态。

3、 当开高压时必须先打开预开。如直接开高压则发出声告警。

4、 当电位器调节到端点(或预设的边界点)时会出现声光报警。停止调节则停止报警

5、 蒸发量调节可由复位键恢复到初值。(短按有效) 


六、 描仪按键功能:

1、 左右键——平时用于查看项目的设置内容。 在进入设置时用于选择需要设置的项。

2、 坩埚位数设置键——用于设置坩埚******显示位数(配合上下键设置,******可设置16位显示长度)

3、 上下键

  a、 常态时用于查看存储区域(坩埚编号)里的设置参数(三秒钟此按键无响应则恢复显示当前坩埚编号)。

      b:进入设置时,用于设置参数。

4、 设置键

A: 用于进入设置状态。

B、 循环选择设置位。(被设置位闪烁)

顺序为:X频率、Y频率、面扫环行圈数(当选中面扫方式时)、上限电流、下限电流、存储位置(每位存储位置对应一位坩埚号,且其容量与坩埚总数相等;左右坩埚的选择由外部输入控制,左坩埚也可设为16位)。

5、 存储键——用于退出并保存设置的参数。

6、 工作模式键——用于选择圆形、方形和随机工作的输出方式。(随机方式XY均为三角波)

7、 面扫启动键——用于启动圆形环、方行环的面积扫描。

8、 坩埚穴位的设置:在面板控制开关打在O(注:前后开关位置可能互换,应以实物为准)位置时可对坩埚穴位数进行设置。

A、按动手动LED右侧的小灰圆点,当LED出现闪烁时配合上下键即可设置坩埚的穴位数。

B、当退出设置后,同时按住左右键一次,可以使坩埚号加一。


       注:现在的扫描仪坩埚位置显示采用BCD码的方式输入,所以不需要此设置。

 

七、扫描仪面板指示灯

a、 手操器(通讯)指示——当手持控制器与扫描仪正常工作时该指示灯闪烁。

b、 圆形环/面——该灯点亮表明扫描仪输出的波形为圆形环,当该指示灯在闪烁时表明输出波形为圆形面积。

c、 方形环/面——该灯点亮表明扫描仪输出的波形为方形环,当该指示灯在闪烁时表明输出波形是由方形环组成的面积。

d、 环行圈数——当指示灯点亮时表明左窗的显示的是环形面积是由几条环形圈组成。

e、 随机方式——该灯点亮表明扫描仪输出的波形为随机方形面积。(XY均为三角波)

f、 X频率指示——该灯点亮表明左窗的显示内容为X的输出频率值。

g、 Y频率指示——该灯点亮表明左窗的显示内容为Y的输出频率值。

h、 串行口——当扫描仪与上位机正常通讯时该指示灯闪烁。

i、 上限电流指示——该灯点亮表明左窗的显示内容为X报警输出电流的******设定值。

j、 下限电流指示——该灯点亮表明左窗的显示内容为X报警输出电流的***小设定值。

k、 过流指示LED——当X的电流输出超出设定值时过流指示LED点亮。

l、 坩埚手动(或正常)LED——该灯点亮表明右窗显示的坩埚工作在外计数器方式。

注:某些型号为 “正?!?span>LED——该灯点亮表示当前坩埚调出的是用于蒸镀时设置的参数。

m、 坩埚自动(或预熔)LED——该灯点亮表明右窗显示的坩埚工作在通讯方式。

注:某些型号为 “预熔”LED——该灯点亮表示当前坩埚调出的是用于预熔时设置的参数。

n、 束斑记忆LED——当前坩埚如有束斑位置记忆时该指示灯点亮。

o、 频率正常LED——用于监视X、Y通路的频率。指示灯常亮表示XY频率正常。   注:有的机型标记为〈Y正?!?。

八、基本操作过程

1、 参数的设置:

a) 首先用〈工作模式〉键选定三种工作方式之一。(圆形、方形、随机三角形)

b) 用左右键选择要设置的项:X频率、Y频率(面扫方式只设置X频率)、上限电流、下限电流以及面扫方式下的环行圈数(******20)、存储位置(坩埚位置)

c) 按〈设置〉键开始进入参数设置,反复按〈设置〉键可选择设置位。被选中的位出现闪烁提示。

d) 用上下键改变设置参数。

e) 设置完成后按〈存储〉键后退出并保存当前设置数。同时存储位置显示恢复到实际的坩埚编号显示。

f) 平时可利用上下键查看存储内容。按坩埚位数长度设置键——进入设置右坩埚******显示位数,配合上下键,******设置32位(此功能用户不可设)。

2、 查看设置的参数——按左右键选择到需要查看项的状态指示点亮时,左边数码框的显示

      内容即为设定值。

3、 查看存储区域的设置——按上下键选择坩埚位置,左边数码框的显示内容即为设定值。

           3秒无键响应时恢复显示当前坩埚位置。

九、插座定义

晶控仪接口:

1

2

3

4

5

6

7

8

接晶控仪OUT1

接晶控仪OUT3

  NC

NC

接晶控仪IN1

接晶控仪IN3

接晶控仪到位检测

 DC0V

 

9

10

11

12

13

14

15

 

接晶控仪OUT2

接晶控仪OUT4

 NC

 NC

接晶控仪IN2

接晶控仪IN4

DC0V

 

注:和晶控仪连接均以2进制编码方式接口,晶控仪可以选择用4bit输出位置编码方式工作也可以选择用4bit接收位置编码方式工作,使用非常灵活。

19芯撒耳插座:(座孔)所有控制输出常态均为高电平

1

2

 3

4

5

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 7

8

9

10

左右枪检测(低电平为左枪)默认为右枪工作

NC

NC

功率调节

010V输出

手动/自动

检测

 

常态/预熔检测

正反转检测

DC0V

DC0V

坩埚转动到位

(和晶控仪到位同步给出)

启动右坩埚转位控制脉冲

 

 11

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14

 15

 16

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 19

 

输出控制公共端(P1-2

启动左坩埚转位控制脉冲

开右挡板控制脉冲

DC0V

坩埚计数CK(正沿计数)

开左挡板控制脉冲

NC

启动高压控制脉冲

高压检测(低电平开高压)

 


注:所有状态控制均为负脉冲输出,宽度为1.5S,为了增加检测的可靠性建议PLC检测电平而不要检测脉冲边沿。(左右挡板,左右坩埚,开高压共5点用继电器方式输出,公共端出厂设为DC0V,可根据需要设为浮空)



10芯撒耳插座:(座针)


1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

X15

X20

 

Y15

 

Y20

 

高压偏转?;さ?span>PLC 

 

高压偏转?;さ?span>PLC



后面板RS232   DB9芯插座:(座孔)

1

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9

 

TOUT

RIN

 

DC0V

 

 

 

 



前面板手操器 DB9芯插座:(座针)

1

2

3

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5

6

SDATAPP

TOUT

RIN

SCLOCKPP

DC0V

+12V





十、附件


  使用说明书一本

电源连接线一根

250V2A延时保险2

手持控制器一只


使用特别注意:


1、     双枪使用单扫描且用MDC360时特别注意:环形坩锅号一定要大于穴位坩埚数。

例如:穴位坩埚数为12,则环形坩埚号一定要设成1316之间。即右枪坩埚数设为12,左枪坩埚数设为13,且把左枪的当前坩埚号设为13即可。

2、 外壳一定要接地。

3、     当有强干扰源的时候建议采用一只220V/150W的隔离变压器对仪器进电源进行隔离。



成都南仪电子电气有限责任公司


 
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