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兴南仪真空仪表使用说明书

阳极层离子源说明书

发布时间: 2016-06-22 13:25   1015 次浏览




   LZY530A霍尔离子源

 

使

 

 

 

 

                                                                        

 

 

成都兴南仪真空设备有限公司

CHENGDU XINGNANYI VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD

地址:四川省成都市温江区海峡科技园蓉台大道540

电话:(86)028-85834909    

网址:http:// /www.www.bloggerbingo.com



 

注意事项

 

在安装,运行或维修设备前请阅读本手册,切勿安装替代件,或对产品执行未授权的修改, 将产品返回(成都兴南仪真空设备有限公司 )维修确保其安全特征的持久性。

 

安全符号

 

警告提醒注意可能引起人身伤害或死亡的程序,实践,或条件。

警示提醒注意可能引起设备损坏或数据******丢失的程序,实践,或条件。

 

注:即使是【警示】中所记载的事项,根据不同情况也可能造成严重后果。因此所有内容非常重要,务必严格遵守。

 

 

基本机构

 

霍尔等离子源主要部件包括:阳极、磁铁、阴极灯丝、气路、冷却水路、支架。其驱动电源包括阴极灯丝电源和阳极放电电源。

 

 

 

保用信息

 

如按本手册中的说明使用,本(兴南仪)产品对材料和工艺缺陷实行自发货日起一年的保用期、在保用期内,(兴南仪)将决定对检验损坏的产品进行检修或更换。

除材料或工艺缺陷外,由于误用或更改产品引起的损坏从而必须检修的产品不属于本保用范围,无其他保证、表达或暗示、包含为特殊目的适用或适销的隐含保证、在任何情况下、(兴南仪)对违反本有限保证导致的或接着发生的其他索赔无责。

 

 

联系方式

 

地址:四川省成都市温江区海峡科技园蓉台大道540

电话:02885834909

 

 

 

 

 

 

 

 

 

一、概述

二、应用

三、电源配置

、源头配置信息

  4.1物理和电学结构图说明

   4.2工作原理

五、安装

   5.1电源安装

   5.2电源连接

   5.3源头安装

   5.4系统连接接线

、操作

   6.1启动

   6.2关闭

   6.3操作注意事项

、性能说明

   7.1阳极电源主要技术指标

   7.2阴极电源主要技术指标

   7.3性能概述

  7.4变化离子束流阳极电流和电压—使用氧

7.5变化离子束流阳极电压的阳极电流

  7.6变化的阳极电压与离子能量

7.7变化阳极电压阳极电流和气体使用氧

7.8变化阳极电压与气体在阳极电流7A 使用—气体系统

 

、故障及排除方法

、保养

   9.1每日保养事项

   9.2每周保养事项

   9.3每月保养事项

、服务承

附录

附录一 离子源电源前面板图

附录二 离子源后面板图

附录三 离子源源头图

附录四 灯丝

 

 

 

 

 

 

一、 概述

 

1.产品电源编号

产品编号:

LZY530A

产品名称:

霍尔离子源

规  格:

阳极电压DC50-300V   阳极电流3-10A

产品备注:

适用于增透膜、眼镜镀膜、光纤光学、高反镜、冷/热反光镜以及各种多层镀膜

产品类别:

离子源

2.用途

用于真空镀膜过程中基底离子轰击清洁及沉积过程中离子轰击能量输送。

广泛应用于:增透膜、眼镜镀膜、光纤光学、高反镜、热/冷反光镜、低漂移滤波器、带通滤波器、在线清洗、类金刚石沉积等。

3.产品源头

160型离子源是基于数字控制计术的新一代高性能离子源,整个系统包括一台高精度电源管理器和一个经过典型设计源头,??榛纳杓扑寮从?,水冷阳极设计与特殊的材料和处理工艺、使离子源源头可在高温下长时间工作,使灯丝型中和器更长的工作时间成为可能。合理的结构设计使安装和维护更加方便,本离子源可在较宽的真空度范围中使用、高精度的电源管理使离子流非常稳定、提高离子源的工作效率.使其产生高能量高密度大面积的等离子体、提高了膜层牢固度、致密度,运行过程的高度稳定与预防性的弧恢复******程度降低了离子源对膜层的破坏、更宽的离子束范围适用于大型镀膜机、电源控制器的专业传感器技术与反馈技术能够实时对阳极放电电流的自动控制,提高了过程的重复性和一致性是镀膜的理想辅助设备。

 

二、应用

1、离子束辅助沉积

2、基片表面的预清洁

3、表面改性和活化

4、直接沉积非常薄的坚硬和功能性涂层

5、离子束辅助磁控溅射

6、离子束刻蚀

 

、LZY530A配置信息

适用于:1800及以下镀膜机

阳极电压: DC 50~300V

阳极******允许电流: 10A

阳极电流范围: 3 ~10A

******离子束流: 3.3A

灯丝电流:18~30A

气体流量: 20~100Sccm(氩)

外形尺寸(mm):Φ153×254(H)

电源尺寸(mm):480(W)×240(H)×600(D)

面板尺寸(mm):480(W)×133(H)

安装开孔:3个直径略大于33mm的通孔

水冷阳极:  

水冷阴极:  

 

、离子源源头配置信息

4.1 物理和电学结构图

 

 

 

 

 

 

 

 

 


 

 

4.2工作原理

     气体由阳极底部进入放电区内参与放电,放电区内由磁铁产生锥形磁场,在放电区的上部安装有中和阴极。根据工作要求该型号离子源的工作气体为氩气,反应气体也可以使用氧气、氮气和碳氢等多种气体。放电区上部阴极灯丝加热后产生热电子,当离子源的阳极施以正电位+UA时,电子在电场的作用下向阳极运动,由于磁场的作存在,电子绕磁力线以螺旋轨道前进,与工作或反应气体的原子发生碰撞使其离化。离子在霍尔电场的作用下被加速获得相应的能量,与灯丝阴极发射的部分热电子形成近等离子体,由等离子体源发射出来与基片发生作用达到清洗和辅助镀膜的目的。

      热阴极发射的电子有两个作用:******,向放电区中的提供电子,第二,补偿离子束的空间电荷,改善霍尔源所发射的离子束为一定程度补偿的等离子束。

 

 

、安装

 

5.1 JYK530A电源安装

LZY530A电源占标准5U(22.3cm)高度、19寸机柜,LZY530A电源应安装带有硬件支撑的机架上。

 

警告:为保证LZY530A电源的散热,两侧与后面应有留足够的空间、机柜内应通风良好。

 

5.2电源连接

LZY530A的输入电源电压为220V±10V、50HZ ,提供电源应能承受5KW以上功率、并在前端加装40A空开以?;?。(注:一般我们都配好电源线的)

 

警告:检查提供的电源是否正确接地

注:如果提供的电源波动太大、应加装稳压装置

 

 

 

 

 

 

 

5.3源头安装

安装位置:半径的80~90%

 

5.4系统连接

输出是4芯电缆,一头是航空插头、一头链接到真空室底部的真空转接器上、另一头插在电源的输出端。

电源插座  4芯插座)     银白色

1

2

3

4

N

L

 

 

 

功率输出插座  4芯插座)     深绿色

1

2

3

4

灯丝1

公共极

灯丝2

阳极

外控信号插座  12芯插座)     银白色

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

205

206

 

 

 

 

 

 

 

 

注:外控信号为无源信号,当205206接通时离子源自启动。此时面板按钮阴极阳极均为在开启状态。后板有钮子开关的,将钮子开关拨到外控端,方可使用外控控制。

 

、操作

6.1启动

  (1)  打开充气将流量调合适。(通常真空度到8.0E-3以上时充气,充气到2.0E-2时为适。工作气体氩气)

    (2)  将灯丝加至热电子发射温度(直径0.7毫米的钨丝的电流约为30安培)。

为了延长灯丝使用寿命和去除灯丝表面有氧化层,新灯丝需在电流12安培下进行定形烘烤5分钟,然后灯丝方可加至热电子发射温度(直径0.7毫米的钨丝的电流约为25安培)。

  (2)  待真空稳定后打开离子源的阳极与阴极电源。切换灯丝时要先关闭“启动”开关,再“按下灯丝2”才有效。

  (3)  调整阳极电位器将阳极电压调到***小值。

  (4)  按下启动按钮。

  (5)  缓慢调整阴极电位器此时灯丝被点亮,当阴极电流到约20A时开始有阳极电流出现。

  (6)  继续加大至阳极电流到目标电流为止。(通常放电电流为5A,放电电压100V-150V。)

(7)  观察各项参数是否在正常范围内,如发现不稳定现象应减小阴极电流必要时关闭离子源进一步检查。

6.2关闭

  (1)  将阴极电位器调至零位

  (2)  关闭启动按钮

  (3)  关闭阴极电源然后关闭阳极电源

  (4) 关闭充气

注:由于本离子源有软启动功能,用户如不需要改变参数的情况下可以不

需将电位器调回零位,下次只要打开电源就可直接启动,关闭时也可直接关闭电源。

6.3操作注意事项

  1 严格按照循序进行开关机

  2 运行中确保各项参数在正常范围的5%内

  3 更换灯丝时应注意高温防止烫伤

 

 

、性能说明

7.1阳极电源主要技术指标

(1) 电源输出模式:直流/恒电流源

(2) ******输出功率:3 KW

(3) ******输出工作电压:DC 300V

(4) ******输出工作电流:DC 10.0A,电流调节范围:1A -10A

(5) 恒流控制精度:<5%

(6) 耐电压:输出、输入回路与地间均 ±500V。

(7) 使用温度:0°C40°C

(8) 绝缘强度:输入端对地及对输出端绝缘电阻 3 500 MW

 

7.2阴极电源主要技术指标

(1) 电源输出模式:交流/恒电流源。

(2) 恒流控制精度:< 5 %

(3) ******输出功率:1.4KW

(4) ******输出阴极电压:AC 30V

(5) ******输出阴极电流:AC 30A  

(6) 参数显示:模拟表。

(7) 耐电压:输出、输入回路与地间均 ±500V。

(8) 使用温度:0°C40°C

(9) 绝缘强度:输入端对地及对输出端绝缘电阻 3 500 MW

                                                                      

 

7.3性能概述

离子源的各个参数不是相互独立的,这些参数包括(阳极电流、阳极电压、充气量)这些参数将对离子束的能量,密度产生直接的影响。如何调整较合适的参数需要我们认识它们之间的关系,下面我们以图表的方式予以介绍,这些图表只是客观规律的描叙具体要跟实际情况来调整,掌握这些是非常必要的。

 

7.4变化离子束流阳极电流和电压—使用氧  

 

 

 

 

 

 

 

7.5变化离子束流阳极电压的阳极电流

 

   

 

 

 

 

 

 

 

7.6变化的阳极电压与离子能量

 

 

  

 

 

 

 

 

 

 

 

7.7变化阳极电压阳极电流和气体使用氧

 

   

 

 

 

 

 

 

7.8变化阳极电压与气体在阳极电流7A 使用—气体系统

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

、故障及排除方法  

 

序号

问    题

现      象

原        因

解决方案

1

不起辉

无放电电流,阳极电

压为空载电压

电路不通

灯丝断路

无工作气体馈入

检查电路

更换灯丝

供给工作气体

2

工作不稳定

放电电压/电流波动

灯丝电流小无热

电子发射工作气

体流量低

源头污染

增加灯丝电流

增加工作气体流量

清洗源头

3

污染

清洗过程(无蒸发)  情况下基片出现颜色

灯丝被蒸发或轰击刻蚀

减低放电电压

降低灯丝电流

4

等离子体中性差

真空室出现放电打火

等离子体不是中性

增加或降低灯丝电流

减少阳极放电电流

5

清洗或辅助效果不理想

薄膜附着力差或光学参数不理想

工作气体流量小

气体种类不合适

增加工作气体流量

换一种工作气体

6

均匀性不理想

不同位置基片薄膜性质不同

等离子体分布不均匀

调整离子源角度及位置

7

阳极烧蚀

阳极烧蚀

冷却水不同或流量低

检查水路

增加冷却水流量

8

阳极电源短路

跳空开

阳极电压很低

冷却水电阻小

金属水管短路

极与阴极之间被污染物短路

使用高阻值冷却水

使用塑料水管

清理阳极与阴极之间的间隙

清洗源头

 

 

 

 

 

、保养

9.1每日保养事项

1) 更换灯丝前,确定灯丝地规格是否符合要求

   A、灯丝线径:0.7mm

   B、灯丝圈内径:4mm

   C、灯丝圈数:12

   D、建议使用原厂所提供之灯丝,以避免其它规格的灯丝应为电压或电流过大,

      影响电源的正常。

2)  检查3条高温线是否正常。

3)  检查冷却水阻值是否在2~5兆欧以上,若低于此值,则必须更换。若是冷却水中有可见的水垢出现,亦必须更换。

4) 检查各个接点(包括冷却水 ×2, 电×3(2端),气×1)是否正常连接。

5) 检查灯丝及阳极是否都有各自绝缘。切勿碰触接地。(注:离子源外罩为接地

6) 利用阻值测量阳极各点阻值是否1欧以下。若是过高,则必须将阳极清洁。

7) 若是灯丝点燃后的电压偏高异常时,则表示灯丝必须更换。

8) 确定所有制程条件与正常值相当,不得超过10%以上。一有异常,则先行灯丝测试及清洁离子源。

9) 所有绝缘套是否正常,若是异常,则需更换。

10) 检查反射板是否正常,若是有尖锐的突出,则必须以细砂研磨必要时更换。

 

9.2每周保养事项

   离子源本体外罩、阳极清洁及表面螺丝等接头,以百洁布配合酒精轻轻的研磨外罩表面,切勿喷砂处理。

  

9.3每月保养事项

 A  如果离子源内部零件有任何异?;蛉彼?,则必须更换,以免因为不当的使用,造成损坏无法挽回。

 B  冷却水路以空气加压彻底清洁,以清除沉积在管路中的水垢。

 C  在真空腔体中所有电源接头都必须以细砂研磨干净。

9.4阳极清洁说明

A  使用百洁布对阳极表面进行打磨,待表面镀层被打磨干净。

B  用吸尘器将打磨下来的物质吸净。

C  用纱布配合酒精将表面擦拭干净。

D  清洁后的阳极应表面光亮,否则再次清洁。

9.5部件更换周期

  ≦4小时             不锈钢碗垫≦300小时  

灯丝螺帽≦500小时          瓷  垫≦300小时   

高温电线≦1000小时         接线柱≦3000小时     

  ≦8000小时            瓷 环≦2000 小时

气体反射板≦2000 小时

 

 

 

附录

 

附录一 离子源电源前面板图

 

 

 

附录 离子源电源后面板图

 

附录三 离子源源头

 

附录四 灯丝

 

 

 

、服务承诺:


1、接到服务受理电话后,2个小时内作出回复。
2、我们提供24小时电话服务受理,让客户随时随地都能放心使用本公司的产品。
3、保证为客户提供优良的售前、售中、售后服务,为客户在订购本公司产品后使产品性能和使用要求满足客户的需要,并提供相关资料。若需要到现场解决问题,本公司将及时派出专业技术服务人员,并做到问题不解决服务人员不撤离。
4、保证兑现产品:“三包”服务规定,产品在“三包”服务期内确属产品质量问题,严格履行合同中规定的义务。凡超过“三包”期限的产品,我们同样也将及时地提供服务,并适当收取合理的服务费用。
5、若客户需进行技术培训,本公司应帮助用户培训操作、保养、维修等有关人员,并对定时对客户进行走访,质量跟踪。
6、对客户来函、来电、来访等信息,及时做好登记传递、分析、处理、反馈等工作,并根据客户需求改进产品性能,不断提高产品质量。
7、对于我公司所供的产品在今后10年内保证提供备件供应,终生提供服务

 

备注说明

1非保固范围

   (1)  陶瓷类制品,包括:绝缘陶瓷及陶瓷水管

   (2)  真空高温电线

(3)  反射板

(4)  灯丝

(5)  水管类

(6)  气管类

2 离子源安装客户应注意及配合事项

(1) 气体(由客户提供备妥)

氩气   纯度要求:至少99.999%。

气路连接  要求采用不锈钢管且内壁抛光处理或采用优质PU管。

(2) 电源(由客户备妥)

    依照客户采购指定之220V,30A,50/60Hz电源。

(3) 冷却水(由客户备妥)

   水质:建议采用纯水,电阻值至少维持在25兆欧以上

   水温建议:23度

  

随电源配件:

1:说明书1份(随源头装木箱)

2:电源固定支架2只

3:电源线1根(随源头装木箱)

4:外控线(选配件)

注:电源输出线为源头配件

 

霍尔离子源头接线说明:

 

绿色 à 阳极

 

红色 à 公共极

 

蓝色 à 灯丝1

 

黄色 à 灯丝2


 
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